工業会取扱製品情報
マイクロフォーカスＸ線用試験片
Micro Resolution Chart for X-Ray
Ｘ線装置の分解能を確認する試験片です。
日本検査機器工業会のＸ線用解像度マイクロチャート試験片情報
| 型式 | L/S幅 |
|---|---|
| RT RC-02B ※販売を完了しました | 0.4～15μm |
| RT RC-04 ※販売中 | 0.1～10μm |
| RT RC-05 ※販売を完了しました | 3～50μm |
| RT RC-05B ※販売中 | 3～50μm |
| RT CT-01 ※販売を完了しました | 3～7μm |
| RT CT-01B ※2023/4より販売開始 | 3～7μm |
● マイクロフォーカス用
RT RC-02B ※販売を完了しました
タングステン(W)の吸収体を最新の超微細加工技術によりサブミクロンからミクロンまでの16種類（0.4μm～15μm）のマイクロチャートを実現しました。
L/S : 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 10.0, 15.0 μm(16種類)
RT RC-04
タングステン(W)の吸収体を最新の半導体製造技術の採用によりナノオーダ23種（0.1～10μm）のLine&Spaceマイクロチャートを実現しました。
L/S : 0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.35, 0.4, 0.5, 0.6, 0.7, 0.8, 0.9, 1.0, 1.5, 2.0, 3.0, 4.0, 5.0, 6.0, 7.0, 8.0, 9.0, 10.0μm (23種類)
RT RC-05B
金(Au)の吸収体を最新の超微細加工技術により、ミクロンオーダー16種類（3～50μｍ）のLine&Spaceマイクロチャートを実現しました。
L/S : 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10μm (T字配列) 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50μm (Ｉ字配列)(16種類)
RT CT-01B
最新の超微細加工技術により、金(Au)の吸収体を採用したミクロンオーダーのマイクロフォーカスX線CT装置の解像度評価や調整等に使用する解像度マイクロチャートです。
L/S : 3, 4, 5, 6, 7μm (5種類)
| 型式 | RT RC-02B | RT RC-04 | RT RC-05B | RT CT-01B |
|---|---|---|---|---|
| L/S幅 | 0.4～15μm | 0.1～10μm | 3～50μm | 3～7μm |
| カタログ（日本語） | ||||
| カタログ（英語） | ||||
| 説明書 |